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| 用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 唐昊龙
 caj(6547Kb) |  收藏 | 浏览/下载：126/0 | 提交时间：2020/08/24
光学薄膜 高集成光谱探测 楔形薄膜 膜系设计 离子束溅射 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
 caj(654Kb) | 收藏 | 浏览/下载：409/122 | 提交时间：2018/04/09
薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
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薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
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薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie
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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, C.; J. Zhang; Y. Wang; S. Kuang and Y. Xie
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| 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者: 才玺坤; 张立超; 时光; 贺健康; 武潇野; 梅林
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离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
caj(1233Kb) | 收藏 | 浏览/下载：383/201 | 提交时间：2017/09/17
Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 大口径反射镜高反射膜研究进展 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 203-212
作者: 孙梦至; 王彤彤; 王延超; 刘震; 刘海; 王笑夷; 杨海贵; 高劲松
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大口径 反射镜 高反射膜 环境适应性 |
