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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:208/0  |  提交时间:2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1005/141  |  提交时间:2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/135  |  提交时间:2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644
作者:  邵晶;  马冬梅;  张海涛;  于杰;  周烽
caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:526/120  |  提交时间:2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  相位复原  衍射波前  
基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:  李晓天;  齐向东;  于海利;  高键翔;  冯树龙;  巴音贺希格
caj(243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/86  |  提交时间:2015/04/17
平面光栅  光栅刻线  摆角修正  衍射波前  压电执行器  
机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 03, 页码: 232-239
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(1210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:486/133  |  提交时间:2014/03/07
光栅  平面光栅  光栅刻线弯曲  光栅刻线位置误差  衍射波前  光栅指标  
刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 43-52
作者:  李晓天;  巴音贺希格;  齐向东;  于海利;  唐玉国
caj(2095Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:562/98  |  提交时间:2013/03/11
光栅  快速傅里叶变换  衍射波前  光栅指标  光栅刻线误差  
利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2012, 期号: 01, 页码: 264-267
作者:  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:402/82  |  提交时间:2013/03/11
衍射光栅  分辨本领  衍射波前  泽尼克多项式