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| 用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 唐昊龙
 caj(6547Kb) |  收藏 | 浏览/下载：92/0 | 提交时间：2020/08/24
光学薄膜 高集成光谱探测 楔形薄膜 膜系设计 离子束溅射 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超 ; 时光
收藏 | 浏览/下载：199/0 | 提交时间：2019/09/17
浸没式光刻 光学薄膜 膜系设计 环境适应性 激光辐照寿命 |
| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者: 匡尚奇; 张超; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军
收藏 | 浏览/下载：196/0 | 提交时间：2019/09/17
光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
 caj(1233Kb) | 收藏 | 浏览/下载：357/179 | 提交时间：2017/09/17
Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 基于聚类全局优化算法的薄膜设计优化技术的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 373-378
作者: 李资政; 杨海贵; 王笑夷; 王彤彤; 申振峰; 高劲松
caj(1279Kb) | 收藏 | 浏览/下载：274/90 | 提交时间：2016/07/06
薄膜 膜系设计优化 聚类算法 全局优化算法 |
| 深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者: 张立超; 才玺坤; 时光
caj(474Kb) | 收藏 | 浏览/下载：259/128 | 提交时间：2016/07/06
深紫外光刻 超精密光学 膜系设计 光学性能保障 环境适应性 |
| 1555nm宽带通滤光膜的设计和优化 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 557-562
作者: 张金胜; 张金龙; 宁永强; 王立军
caj(191Kb) | 收藏 | 浏览/下载：454/128 | 提交时间：2014/03/07
带通滤光膜 膜系设计 薄膜制备 |
| 长波长软X射线多层膜的设计与制备 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
作者: 王国田
caj(114Kb) | 收藏 | 浏览/下载：335/82 | 提交时间：2013/03/11
多层膜:7841 软x射线:5696 长波长:1722 离子束:1191 反射率计:682 软x射线光学:620 反射镜:575 正入射:458 扩展x射线吸收精细结构:419 膜系设计:341 |
| 工作波长短于10nm的软X射线多层膜 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 19-24
作者: 吕俊霞; 马月英; 张俊平; 王占山; 曹健林
caj(242Kb) | 收藏 | 浏览/下载：392/62 | 提交时间：2013/03/11
软x射线 多层膜反射镜 正入射 膜系设计和模拟计算 |
| 软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 08, 页码: 1088-1093
作者: 张俊平; 曹健林; 马月英; 高宏刚; 陈斌; 吕俊霞; 裴舒; 陈星旦
caj(252Kb) | 收藏 | 浏览/下载：387/63 | 提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜 激光反射镜 膜系设计和模拟计算 |
