Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
工作波长短于10nm的软X射线多层膜 | |
吕俊霞; 马月英; 张俊平; 王占山; 曹健林 | |
1996-04-30 | |
发表期刊 | 光学精密工程 |
期号 | 02页码:19-24 |
关键词 | 软x射线 多层膜反射镜 正入射 膜系设计和模拟计算 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30477 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕俊霞,马月英,张俊平,等. 工作波长短于10nm的软X射线多层膜[J]. 光学精密工程,1996(02):19-24. |
APA | 吕俊霞,马月英,张俊平,王占山,&曹健林.(1996).工作波长短于10nm的软X射线多层膜.光学精密工程(02),19-24. |
MLA | 吕俊霞,et al."工作波长短于10nm的软X射线多层膜".光学精密工程 .02(1996):19-24. |
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