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一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  张海涛;  裴舒;  马冬梅;  金春水
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成像光谱仪光谱定标 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 48-51
作者:  裴舒
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铝合金微弧氧化膜白色斑点成因分析 期刊论文
兵器材料科学与工程, 2011, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 70-72
作者:  裴舒
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用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究 期刊论文
物理学报, 2010, 卷号: 59, 期号: 2, 页码: 907-912
作者:  梁静秋;  梁中翥;  孔延梅;  付建国;  郑莹;  朱万彬;  裴舒;  王维彪
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固着磨料加工碳化硅反射镜的实验 期刊论文
光学精密工程, 2009, 期号: 4
作者:  王旭;  张学军;  徐领娣;  裴舒;  刘建卓
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碳化硅反射镜  固着磨料  丸片  去除率  表面粗糙度  
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  马月英;  裴舒;  曹健林
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极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调  
均匀软X射线多层膜制备方法研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 期号: 05, 页码: 444-446
作者:  金春水;  林强;  马月英;  裴舒;  曹健林
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软x射线  多层膜  磁控溅射  均匀性  
激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术 期刊论文
航空精密制造技术, 2003, 期号: 02, 页码: 5-9
作者:  王金林;  陈明;  韩荣久;  刘伟奇中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  吴清文中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;  裴舒
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激光陀螺  浮法抛光  相移干涉  原子力显微镜  分形  
蚀刻表面面形的分析 期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 07, 页码: 887-893
作者:  张殿文;  卢振武;  曹召良;  李凤友;  赵晶丽;  裴舒;  刘玉玲;  王肇圻
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离子束蚀刻  光栅  表面浮雕结构  准单向蚀刻效应  
极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
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极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜