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| 应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文 中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353 作者: 李华东; 齐克奇 ; 石强; 王少鑫 ; 王智
Adobe PDF(3006Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:391/76  |  提交时间:2021/07/06 精密驱动 尺蠖运动 压电驱动器 驱动力 位移分辨率 |
| 电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文 中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462 作者: 王少鑫 ; 齐克奇 ; 王玉坤 ; 王智; 陈立恒
caj(2680Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:314/64  |  提交时间:2020/08/24 惯性传感器 敏感结构 电极不对称 量程 |
| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144 作者: 方超 ; 向阳 ; 齐克奇![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:148/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 光栅 相位 干涉 串扰 重复精度 |
| Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5 作者: Fang, Chao ; Xiang, Yang ; Qi, Keqi![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(403Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:392/134  |  提交时间:2019/09/17 Aberrations Crosstalk Interferometry Measurement Photolithography Shearing Wave interference Wavefronts |
| 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881 作者: 齐克奇 ; 向阳 ; 丁亚林; 方超 ; 周振平
caj(489Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:462/129  |  提交时间:2018/04/09 并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法 |
| 光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文 仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524 作者: 齐克奇 ; 向阳![](/image/person.jpg)
caj(899Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:485/83  |  提交时间:2015/04/17 光刻物镜 波像差 剪切干涉 针孔 有限元方法 |
| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104 作者: 于长淞 ; 齐克奇 ; 张春雷 ; 向阳![](/image/person.jpg)
caj(447Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:519/158  |  提交时间:2014/03/07 剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 |
| 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文 光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455 作者: 齐克奇 ; 向阳![](/image/person.jpg)
caj(1097Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:542/125  |  提交时间:2013/03/11 光刻投影物镜 波像差 相移测量 桥式放大机构 有限元 |
| 光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45 作者: 齐克奇![](/image/person.jpg)
caj(2025Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:540/119  |  提交时间:2013/03/11 光刻物镜波像差检测平台 针孔定位 自解耦 有限元方法 |
| 一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 齐克奇 ; 向阳![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(836Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:786/135  |  提交时间:2012/08/29 |