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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:  李华东;  齐克奇;  石强;  王少鑫;  王智
Adobe PDF(3006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/76  |  提交时间：2021/07/06
精密驱动  尺蠖运动  压电驱动器  驱动力  位移分辨率  
电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:  王少鑫;  齐克奇;  王玉坤;  王智;  陈立恒
caj(2680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/64  |  提交时间：2020/08/24
惯性传感器  敏感结构  电极不对称  量程  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：148/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/134  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：462/129  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法  
光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/83  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：519/158  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元  
光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：542/125  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元  
光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
作者:  齐克奇
caj(2025Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：540/119  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台  针孔定位  自解耦  有限元方法  
一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  齐克奇;  向阳
Adobe PDF(836Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：786/135  |  提交时间：2012/08/29