Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 | |
齐克奇 ; 向阳
| |
| 2012-12-15 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 12页码:1452-1455 |
| 关键词 | 光刻投影物镜 波像差 相移测量 桥式放大机构 有限元 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27574 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 齐克奇,向阳. 光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制[J]. 光子学报,2012(12):1452-1455. |
| APA | 齐克奇,&向阳.(2012).光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制.光子学报(12),1452-1455. |
| MLA | 齐克奇,et al."光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制".光子学报 .12(2012):1452-1455. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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