Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 | |
王少鑫 ; 齐克奇; 王玉坤; 王智; 陈立恒
| |
| 2019 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 卷号 | 12期号:03页码:455-462 |
| 摘要 | 惯性传感器被广泛应用于地球重力场反演、等效原理验证等科学实验中,用来测量空间非保守力作用引起的微小加速度扰动以实现航天器的无拖曳控制。目前国内外正在大力开展的空间引力波探测计划中,惯性传感器作为核心测量载荷主要用于屏蔽外界噪声扰动,并通过静电控制和微推进器的测量及补偿实现测试质量在空间敏感轴方向自由漂浮运动。本文以静电悬浮式惯性传感器电容结构为基础,结合系统静电力驱动控制的工作原理,并以实际的加工条件为依据,对电极不对称性这一系统自身的误差来源展开分析,通过对各种不对称情况的系统性能影响比较分析,得到电极不对称性对于系统性能,特别是量程损失的影响显著。在此基础上结合实际加工条件得出将加工线度尺寸误差控制在10μm以内,面积不对称性控制在1%～2%之间的基本要求,以降低其对系统测量范围的限制,进而提高科学目标。 |
| 关键词 | 惯性传感器 敏感结构 电极不对称 量程 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/63650 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王少鑫,齐克奇,王玉坤,等. 电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究[J]. 中国光学,2019,12(03):455-462. |
| APA | 王少鑫,齐克奇,王玉坤,王智,&陈立恒.(2019).电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究.中国光学,12(03),455-462. |
| MLA | 王少鑫,et al."电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究".中国光学 12.03(2019):455-462. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究.（2680KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王少鑫]的文章 |
| [齐克奇]的文章 |
| [王玉坤]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王少鑫]的文章 |
| [齐克奇]的文章 |
| [王玉坤]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王少鑫]的文章 |
| [齐克奇]的文章 |
| [王玉坤]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论