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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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超景深鬼像仿真分析方法研究
期刊论文
红外, 2020, 卷号: 41, 期号: 11, 页码: 27-32
作者:
刘韬
;
汪向阳
;
余毅
;
刘震宇
;
何锋赟
;
李周
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提交时间:2021/07/06
超景深鬼像
Code Ⅴ
LightTools
仿真分析
A general method of designing phase-shifting algorithms for grating lateral shearing interferometry
期刊论文
Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering, 2018, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 809-814
作者:
Fang, C.
;
Xiang, Y.
;
Qi, K. Q.
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提交时间:2019/09/17
Interferometry
Phase measurement
Phase-shifting algorithms
point-diffraction interferometer
wave-front reconstruction
hartmann-shack sensor
spatial-resolution
metrology
optics
euva
Computer Science
Engineering
Two-step algorithm for removing the rotationally asymmetric systemic errors on grating lateral shearing interferometer
期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 14267-14277
作者:
Zhang, L.
;
Qi, K. Q.
;
Xiang, Y.
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提交时间:2019/09/17
spherical surfaces
absolute
deviation
metrology
flat
maps
Optics
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:
方超
;
向阳
;
齐克奇
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提交时间:2019/09/17
测量
光栅
相位
干涉
串扰
重复精度
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法
期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:
张璐
;
向阳
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提交时间:2019/09/17
测量
光刻镜头
绝对检测
光栅横向剪切干涉仪
系统波像差
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:
Zhang, Lu
;
Xiang, Yang
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提交时间:2019/09/17
Shearing
Aberrations
Errors
Interferometers
Measurement
Wavefronts
Calibration Method to Eliminate Zeroth Order Effect in Lateral Shearing Interferometry
期刊论文
Photonic Sensors, 2018, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 255-262
作者:
Fang, C.
;
Xiang, Y.
;
Qi, K. Q.
;
Chen, D. W.
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提交时间:2019/09/17
Calibration
phase measurement
phase shifting interferometry
spatial-resolution
phase
optics
Instruments & Instrumentation
Optics
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:
Fang, Chao
;
Xiang, Yang
;
Qi, Keqi
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提交时间:2019/09/17
Aberrations
Crosstalk
Interferometry
Measurement
Photolithography
Shearing
Wave interference
Wavefronts
并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:
齐克奇
;
向阳
;
丁亚林
;
方超
;
周振平
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提交时间:2018/04/09
并联式
自解耦
微位移平台
嵌套式平行导向机构
有限元方法
双光栅光谱仪光栅转轴的多目标优化
期刊论文
红外与激光工程, 2017, 页码: 196-202
作者:
许典
;
曹佃生
;
林冠宇
;
于向阳
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提交时间:2018/04/09
光栅转轴
质心调整
轻量化
模态分析
随机响应分析