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High-accuracy measurement of the focal length and distortion of optical systems based on interferometry 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 18, 页码: 5217-5223
作者:  Yang, G. Q.;  Miao, L.;  Zhang, X.;  Sun, C.;  Qiao, Y. F.
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talbot interferometry  Optics  
一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：301/123  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
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成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165
作者:  师途;  臧仲明;  刘东;  杨甬英;  种诗尧;  张磊;  白剑;  沈亦兵;  苗亮;  黄玮
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测量  干涉  非球面检测  非零位  回程误差  校正方法  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/137  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
六自由度微动并联机器人工作空间分析 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2015, 期号: 04, 页码: 1-5
作者:  郭本银;  刘钰;  苗亮
caj(1314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/84  |  提交时间：2016/07/06
并联机器人  工作空间  数值法  逆解