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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:
吴越
;
王丽萍
;
于杰
;
张旭
;
金春水
浏览
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Adobe PDF(2477Kb)
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浏览/下载:397/104
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提交时间:2022/06/29
变步长搜索的计算全息图编码方法
期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 02, 页码: 368-374
作者:
邱宏伟
;
金春水
;
于杰
;
刘钰
;
张海涛
;
王丽萍
;
孙诗壮
浏览
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Adobe PDF(2699Kb)
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收藏
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浏览/下载:320/100
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提交时间:2022/06/29
基于神经网络的机器人抛光材料去除提升模型(英文)
期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 231-238
作者:
余熠
;
孔令豹
;
张海涛
;
徐敏
;
王丽萍
caj(1949Kb)
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收藏
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浏览/下载:396/59
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提交时间:2020/08/24
机器人抛光
材料去除
机器学习
深度神经网络
建模与仿真
一种光机系统结构稳定性评估方法
期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:
郭本银
;
谢耀
;
于杰
;
王丽萍
;
苗亮
caj(1232Kb)
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浏览/下载:314/130
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提交时间:2017/09/17
测量
长期稳定性
敏感矩阵
奇异值分解
微缩投影系统的垂轴放大率测量
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:
谢耀
;
王丽萍
;
郭本银
;
王君
;
苗亮
;
王辉
;
周烽
caj(532Kb)
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浏览/下载:404/149
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提交时间:2017/09/17
成像系统
微缩投影系统
垂轴放大率测量
点衍射干涉仪
离焦
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:
王君
;
王丽萍
;
金春水
;
苗亮
;
谢耀
caj(1576Kb)
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浏览/下载:447/138
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提交时间:2016/07/06
光学设计
极紫外光刻
可视化界面
初始结构
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:
王辉
;
周烽
;
喻波
;
谢耀
;
于杰
;
刘钰
;
王丽萍
caj(1280Kb)
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浏览/下载:407/147
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提交时间:2016/07/06
测量
光刻技术
有限元分析
高复现性支撑装置
薄膜均匀性测量
光纤相移点衍射干涉仪关键技术
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
caj(1235Kb)
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浏览/下载:330/104
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提交时间:2016/07/06
高精度检测
光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
激光光源
光纤
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
caj(1171Kb)
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浏览/下载:430/135
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提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
微缩投影系统的计算机辅助装调
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:
谢耀
;
于杰
;
王丽萍
;
王辉
;
周烽
caj(208Kb)
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浏览/下载:458/131
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提交时间:2015/04/17
微缩投影系统
集成装调
计算机辅助装调
敏感度矩阵
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