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光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：399/122  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
caj(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/159  |  提交时间：2016/07/06
精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差  
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:  赵磊;  彭海峰;  于新峰;  东立剑
caj(657Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/92  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
夹紧力作用下镜面变形及夹紧重复性研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 01, 页码: 192-197
作者:  周连生;  于新峰;  张巍
caj(1111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：253/110  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  镜面变形  运动学支撑  夹紧力  夹紧重复性  有限元法  Zernike多项式  
基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208
作者:  周连生;  于新峰;  吴志会;  芮大为;  张巍
caj(1405Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/106  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/185  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式