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| Optical System Design of Full-Spectrum Hyperspectral Imaging Spectrometer 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2022, 卷号: 42, 期号: 23 作者: J. Ma; J. Zhang; C. Wu; X. Li; T. Lu and B. Yang 浏览  |  Adobe PDF(1798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:244/121  |  提交时间:2023/06/14 |
| 微透镜阵列积分视场成像光谱仪的研究与设计 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 刘嘉楠 caj(5553Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:367/0  |  提交时间:2020/08/24 成像光谱仪 积分视场成像光谱仪 微透镜阵列 傅里叶光学 光学设计 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:283/0  |  提交时间:2020/08/24 投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| Design and analysis of medium wave infrared miniature static Fourier transform spectrometer 期刊论文 Acta Physica Sinica, 2018, 卷号: 67, 期号: 6, 页码: 11 作者: Wang, H. L.; Lu, J. G.; Liang, J. Q.; Liang, Z. Z.; Qin, Y. X.; Wang, W. B. Adobe PDF(1541Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:509/144  |  提交时间:2019/09/17 medium wave infrared Fourier transform spectrometer diffraction microstructure microlens array resolution spectroscopy simulation lenses Physics |
| Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4 作者: Xu, M.-F.; W.-B. Pang; X.-R. Xu; X.-H. Wang and W. Huang 浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:342/102  |  提交时间:2017/09/11 |
| Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3 作者: Yang, W.; W. Huang and H.-B. Shang 浏览  |  Adobe PDF(1721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:320/94  |  提交时间:2017/09/11 |
| Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12 作者: Wang, J.; L. Wang; C. Jin; L. Miao and Y. Xie 浏览  |  Adobe PDF(4381Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:265/104  |  提交时间:2016/08/24 |
| 光刻物镜光瞳极平衡性标定方法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 9, 页码: 282-289 作者: 芮大为; 史振广; 袁文全; 张巍 caj(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:399/150  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 光刻物镜 光瞳极平衡 远心度 |
| 光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 杨添星 Adobe PDF(11650Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:433/3  |  提交时间:2014/03/15 均匀性 投影光刻物镜 光线追迹 光学设计 |
| 投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿 期刊论文 光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122003-1-4 作者: 杨旺 Adobe PDF(401Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/158  |  提交时间:2012/05/11 |