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大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:  刘林;  刘兆武;  于宏柱;  王玮;  姜岩秀;  姜珊;  孙宇佳;  金思宇;  梁旭;  巴音贺希格;  李文昊
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Review on the measurement methods of mirror seeing of large-aperture telescope 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2023, 卷号: 52, 期号: 2
作者:  J. Zhu, Q. An and F. Yang
浏览  |  Adobe PDF(2865Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：10/5  |  提交时间：2024/08/13
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
浏览  |  Adobe PDF(1093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/147  |  提交时间：2019/09/17
Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Position control technology of large aperture mirror based on hydraulic support 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 10
作者:  Li, J.-F.;  X.-X. Wu;  Y.-X. Li;  J.-W. Sun and X.-W. Su
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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
浏览  |  Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/117  |  提交时间：2018/06/13
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
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激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/89  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
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Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
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