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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Fast and High Quality Composite Processing Method for Silicon Carbide Wafers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 13
作者:  C. Yang,F. Li,T. Ren,Y. Wei and Y. Bai
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Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
浏览  |  Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：106/31  |  提交时间：2021/07/06
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：235/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
Design of large aperture ultraviolet optical system for ultraviolet camera 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 212-218
作者:  Cui, Mu-Han;  Tian, Zhi-Hui;  Zhou, Yue;  Zhang, Ming-Chao;  Chen, Xue;  Li, Jia-Qi;  Yi, Xiang-Yu
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Optical systems  Aberrations  Calcium fluoride  Cameras  Electric corona  Energy utilization  Fits and tolerances  Fluorine compounds  Fluorspar  Fused silica  Lenses  
大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者:  高松涛;  武东城;  苗二龙
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计算全息图  Cgh  畸变  非球面检测  
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/147  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  张春雷;  徐乐;  刘健;  马占龙;  王飞;  谷永强;  代雷;  彭石军
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氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)  
Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者:  Zhang, C.-L.;  L. Xu;  J. Liu;  Z.-L. Ma;  F. Wang;  Y.-Q. Gu;  L. Dai and S.-J. Peng
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双光子荧光显微镜扫描控制与成像系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  刘云
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双光子  共聚焦  激光扫描  共振扫描  畸变校正  三维成像