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| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者: 谢耀 ; 王丽萍 ; 郭本银 ; 王君; 苗亮 ; 王辉 ; 周烽![](/image/person.jpg)
caj(532Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:322/112  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉 ; 周烽 ; 喻波 ; 谢耀 ; 于杰 ; 刘钰 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(1280Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:350/127  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 极小孔径衍射波前测试分析 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2639-2644 作者: 邵晶; 马冬梅 ; 张海涛 ; 于杰 ; 周烽![](/image/person.jpg)
caj(431Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:467/103  |  提交时间:2015/04/17 光学检测 点衍射干涉仪 相位复原 衍射波前 |
| 微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108 作者: 谢耀 ; 于杰 ; 王丽萍 ; 王辉 ; 周烽![](/image/person.jpg)
caj(208Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:386/112  |  提交时间:2015/04/17 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解 |
| 望远镜副镜三自由度并联支撑的运动研究 期刊论文 中国科学技术大学学报, 2013, 期号: 10, 页码: 775-781 作者: 王永; 姚太克; 张丽敏; 周烽 ; 周翕
caj(466Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:508/155  |  提交时间:2014/03/07 副镜支撑 三自由度并联机构 运动学建模 轨迹规划 可视化仿真 |
| 高复现性面形检测支撑装置研制 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 136-140 作者: 王辉 ; 于杰 ; 周烽 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(551Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:598/143  |  提交时间:2013/03/11 测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 |
| 干涉测量框架结构设计及稳定性分析 期刊论文 中国激光, 2012, 期号: 11, 页码: 132-135 作者: 周烽 ; 王辉 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(404Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:535/142  |  提交时间:2013/03/11 测量 稳定性分析 干涉测量框架 有限元分析 随机振动分析 |
| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 王辉 ; 周烽 ; 王丽萍 ; 金春水![](/image/person.jpg)
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| 一种用于EUV光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 金春水 ; 王辉 ; 郑琪峰; 周烽 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
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| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 王辉 ; 周烽 ; 郑琪峰; 王丽萍 ; 金春水![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(518Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:470/90  |  提交时间:2012/08/29 |