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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/126  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：507/184  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/109  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/144  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪  
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294
作者:  祝文秀;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(902Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：591/139  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  多层膜  光谱纯度  极紫外  
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：543/142  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：445/125  |  提交时间：2012/05/11
超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  邓文渊;  喻波
Adobe PDF(907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/215  |  提交时间：2012/05/11
Mo_Si多层膜小角X射线衍射结构表征 期刊论文
中国光学与应用光学, 2010, 卷号: 3
作者:  喻波;  录用通知
caj(483Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/90  |  提交时间：2012/09/25