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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Normalized point source sensitivity analysis of large sparse telescopes
期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 567-574
作者:
Q.-C.An
;
J.-X.Zhang
;
F.Yang
;
H.-C.Zhao
;
H.-F.Cao
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提交时间:2020/08/24
Tin compounds,Error analysis,Frequency domain analysis,Mirrors,Optical systems,Sensitivity analysis,Synthetic apertures,Telescopes
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:
宋源
;
卢启鹏
;
龚学鹏
;
王依
;
彭忠琦
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提交时间:2018/04/09
极紫外光刻机
碳污染
清洗技术
多层膜反射镜
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:
匡尚奇
;
张超
;
王一名
;
周祥燕
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:
张超
;
张杰瑞
;
王一名
;
匡尚奇
;
谢耀
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提交时间:2018/04/09
薄膜
多层膜设计
量子进化算法
宽角度极紫外多层膜
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Kuang, S.-Q.
;
C. Zhang
;
Y.-M. Wang
;
X.-Y. Zhou and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
Self-calibrated spectral radiance standard source
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:
Li, F.-T.
;
Z.-G. Li
;
X.-X. Wang
;
J.-B. Wang and C. Lin
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提交时间:2018/06/13
Research on high performance light trap technology for PST test
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 1
作者:
Cao, Z. and Y. Fu
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提交时间:2018/06/08
Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:
Wang, Y.
;
Q. Lu and Y. Gao
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提交时间:2018/06/13
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:
Song, Y.
;
Q.-P. Lu
;
X.-P. Gong
;
Y. Wang and Z.-Q. Peng
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提交时间:2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, C.
;
J. Zhang
;
Y. Wang
;
S. Kuang and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13