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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐
caj(6271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:200/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 39-50 作者: 吕强; 李文昊; 巴音贺希格; 柏杨; 刘兆武; 王玮
caj(407Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:425/119  |  提交时间:2018/04/09 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度 |
| 基于等离子体激发的氧化锌基深紫外发光器件研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 胡光冲
Adobe PDF(2856Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:393/1  |  提交时间:2015/05/03 Mgzno 深紫外 等离子体 Mocvd |
| 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201110449616.3, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09 发明人: 张海涛 ; 于杰 ; 马冬梅 ; 金春水![](/image/person.jpg)
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| 莫尔条纹光电信号自动补偿技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 高旭![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(2763Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:441/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 提高小型光电编码器分辨力和精度的方法研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 冯英翘
Adobe PDF(3139Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:282/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 刘永明
Adobe PDF(2728Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:373/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 小型绝对式光电编码器动态误差检测系统及方法研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 于海![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(3279Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:465/1  |  提交时间:2014/08/21 |