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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏 ; 王依 ; 彭忠琦![](/image/person.jpg)
caj(411Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:405/132  |  提交时间:2018/04/09 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀![](/image/person.jpg)
caj(654Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:399/122  |  提交时间:2018/04/09 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 347-355 作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀![](/image/person.jpg)
caj(892Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:389/134  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8 作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie
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| Self-calibrated spectral radiance standard source 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8 作者: Li, F.-T.; Z.-G. Li; X.-X. Wang; J.-B. Wang and C. Lin
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| Research on high performance light trap technology for PST test 期刊论文 Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 1 作者: Cao, Z. and Y. Fu
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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
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| Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, C.; J. Zhang; Y. Wang; S. Kuang and Y. Xie
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| A method to calculate the ionospheric 83. 4nm dayglow emissions 期刊论文 Chinese Journal of Geophysics-Chinese Edition, 2017, 卷号: 60, 期号: 9 作者: Liu, X. Y.; X. X. Zhang; F. He and B. Chen
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