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| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者: 董世则
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:255/0  |  提交时间:2017/09/17 狭缝柔性结构 光刻物镜 调节机构 导向精度 精度测试 |
| 高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281 作者: 尹志生 ; 李友如; 李佩玥 ; 郭抗 ; 李朋志![](/image/person.jpg)
caj(904Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:345/152  |  提交时间:2017/09/17 双频激光干涉仪 六自由度位姿检测 误差补偿 齐次变换 |
| 电容传感器线性度标定平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福 ; 葛川 ; 李显凌; 倪明阳 ; 郭抗![](/image/person.jpg)
caj(1959Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:314/109  |  提交时间:2017/09/17 电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 |
| Structrual design of detector for optical elements with large aperture 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24 作者: Huang, B.; X.-L. Li and H.-Q. Yang
浏览  |   Adobe PDF(2046Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:287/108  |  提交时间:2017/09/11 |
| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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| Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1 作者: Zhang, D.-F. ; C. Ge; X.-L. Li; M.-Y. Ni and K. Guo
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| Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 3 作者: Yang, W.; W. Huang and H.-B. Shang
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| Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 6 作者: Zhao, L. ; C. Liang; D.-F. Zhang; L.-J. Dong and H.-F. Peng
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