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| 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655 作者: 才玺坤 ; 张立超 ; 时光 ; 贺健康 ; 武潇野 ; 梅林![](/image/person.jpg)
caj(317Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:361/142  |  提交时间:2017/09/17 离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 |
| 离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文 中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363 作者: 贺健康 ; 张立超 ; 才玺坤 ; 时光 ; 武潇野 ; 梅林![](/image/person.jpg)
caj(320Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:296/81  |  提交时间:2017/09/17 离子束溅射 光学薄膜 沉积速率 二维拟合 膜厚均匀性 |
| 基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 2, 页码: 278-285 作者: 谷勇强 ; 张立超 ; 武潇野 ; 梅林 ; 时光![](/image/person.jpg)
caj(645Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:293/102  |  提交时间:2017/09/17 测量技术 激光量热仪 指数法 吸收测量 不确定度 温度漂移 熔石英 |
| 深紫外光刻光学薄膜 期刊论文 中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181 作者: 张立超 ; 才玺坤 ; 时光![](/image/person.jpg)
caj(474Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:273/135  |  提交时间:2016/07/06 深紫外光刻 超精密光学 膜系设计 光学性能保障 环境适应性 |
| 热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815 作者: 才玺坤 ; 张立超 ; 梅林 ; 时光![](/image/person.jpg)
caj(414Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:293/71  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 Laf3 热蒸发 离子束溅射 应力 减反膜 |
| 应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 701-711 作者: 武潇野 ; 张立超 ; 时光![](/image/person.jpg)
caj(424Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:263/99  |  提交时间:2015/04/17 光热方法 光声法 激光量热法 激光辐照 检测技术 |
| 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193 作者: 赵灵; 武潇野 ; 谷勇强 ; 时光 ; 梅林 ; 才玺坤 ; 张立超![](/image/person.jpg)
caj(543Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:330/133  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 薄膜材料 193nm激光器 激光量热法 吸收系数 |
| 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文 激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595 作者: 时光 ; 梅林 ; 高劲松 ; 张立超 ; 张玲花![](/image/person.jpg)
caj(325Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:474/129  |  提交时间:2014/03/07 薄膜 Laf3 热蒸发 离子束溅射 深紫外 |
| 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 11, 页码: 2395-2401 作者: 张立超 ; 高劲松![](/image/person.jpg)
caj(462Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:537/146  |  提交时间:2013/03/11 深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度 |
| 极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文 光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8 作者: 张立超![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(496Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:492/187  |  提交时间:2012/05/11 |