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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：139/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  樊孝贺
caj(4313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2020/08/24
短相干  菲索型  动态干涉仪  条纹图配准  相位解包裹  误差补偿  
集成光学移相干涉仪的研制与性能表征 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 224-228
作者:  郝寅雷;  丁君珂;  陈浩;  蒋建光;  孟浩然;  刘欣悦
caj(2000Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：192/43  |  提交时间：2020/08/24
移相干涉仪  综合孔径望远镜  集成光学  光波导  
拼接光栅型宽波段高分辨率空间外差拉曼光谱仪器对背向散射拉曼光谱的探测 期刊论文
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 06, 页码: 758-764
作者:  邱俊;  齐向东;  李晓天
caj(757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/32  |  提交时间：2020/08/24
拉曼与光学光谱  激光应用  光学仪器与设备  干涉仪  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：186/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
菲佐干涉仪移相器的结构优化设计 期刊论文
机械制造, 2018, 期号: 04, 页码: 33-35
作者:  毛石磊;  郭权锋;  朱锋
收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2019/09/17
菲佐干涉仪  移相器  设计  有限元  
基于四波前剪切干涉的显微定量相位成像实验研究 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 07, 页码: 136-143
作者:  崔博川;  王建立;  姚凯男;  陈涛
收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2019/09/17
干涉术  干涉仪  相位测量  相位调制  波前  
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
收藏  |  浏览/下载：211/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
采用整体最小二乘法的条纹图配准方法 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 625-632
作者:  穆治亚;  艾华;  樊孝贺;  何昕;  何丁龙;  韩冬松;  于国栋
caj(343Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/119  |  提交时间：2017/09/17
共光路动态干涉仪  条纹图配准  整体最小二乘法  
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/114  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制