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一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：228/90  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/100  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/104  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:  谢耀;  于杰;  王丽萍;  王辉;  周烽
caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/107  |  提交时间：2015/04/17
微缩投影系统  集成装调  计算机辅助装调  敏感度矩阵  奇异值分解  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/166  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/90  |  提交时间：2015/04/17
装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测