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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [6]
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期刊论文 [6]
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2016 [2]
2014 [4]
语种
中文 [6]
出处
光学学报 [2]
光学精密工程 [2]
激光与光电子学进展 [1]
红外与激光工程 [1]
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专题:中科院长春光机所知识产出
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语种:中文
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WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
一种光机系统结构稳定性评估方法
期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:
郭本银
;
谢耀
;
于杰
;
王丽萍
;
苗亮
caj(1232Kb)
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浏览/下载:236/93
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提交时间:2017/09/17
测量
长期稳定性
敏感矩阵
奇异值分解
微缩投影系统的垂轴放大率测量
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:
谢耀
;
王丽萍
;
郭本银
;
王君
;
苗亮
;
王辉
;
周烽
caj(532Kb)
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收藏
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浏览/下载:297/101
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提交时间:2017/09/17
成像系统
微缩投影系统
垂轴放大率测量
点衍射干涉仪
离焦
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
caj(1171Kb)
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浏览/下载:353/107
  |  
提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
微缩投影系统的计算机辅助装调
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:
谢耀
;
于杰
;
王丽萍
;
王辉
;
周烽
caj(208Kb)
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收藏
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浏览/下载:368/109
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提交时间:2015/04/17
微缩投影系统
集成装调
计算机辅助装调
敏感度矩阵
奇异值分解
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
郭本银
;
喻波
caj(491Kb)
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浏览/下载:473/171
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提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术
期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
caj(413Kb)
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浏览/下载:299/91
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提交时间:2015/04/17
装调技术
双光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
光学检测