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| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者: 董世则; 郭抗 ; 李显凌; 陈华男; 张德福
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光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者: Qi, K.-Q.; Y. Xiang; Y.-L. Ding; C. Fang and Z.-P. Zhou
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
 Adobe PDF(3933Kb) | 收藏 | 浏览/下载：310/2 | 提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 长寿命空间一维摆镜结构设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王晓旭
Adobe PDF(3389Kb) | 收藏 | 浏览/下载：332/2 | 提交时间：2015/05/03
扫描机构 轻量化 润滑 密封 柔性结构 |
| 一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 04, 页码: 975-981
作者: 肖前进; 贾宏光; 韩雪峰; 席睿
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Ftir光谱仪 动镜支撑机构 柔性铰链 Pzt驱动器 |
