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一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析
肖前进; 贾宏光; 韩雪峰; 席睿
2013-04-25
发表期刊红外与激光工程
期号04页码:975-981
摘要为控制FTIR光谱仪中迈克尔逊干涉仪的动镜做一维的精密直线运动,研究了一种低耦合位移的动镜支撑机构。利用单平行和双平行四杆机构的优点,基于柔性铰链设计了一种动镜支撑机构。根据材料力学及机构动力学理论,对基于压电陶瓷(PZT)驱动器驱动的动镜支撑机构系统的静、动态性能进行了分析。仿真结果表明,低耦合位移动镜支撑机构在外力对称作用时无垂直耦合位移,在外力偏移1 mm非对称作用时其耦合转角的数量级(以度为单位)为10-6;在输出相同位移时,动镜机构的最大应力约为双平行四杆机构的0.5倍;动镜机构的基频f为211.3 Hz,PZT驱动器和动镜机构构成的机电系统的固有频率fn为823.7 Hz,fn约为f的4倍,满足动镜支撑机构系统的动态性能要求。该研究为后续的进一步研究打下了基础,具有一定的工程价值及理论指导意义。
关键词Ftir光谱仪 动镜支撑机构 柔性铰链 Pzt驱动器
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38387
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
肖前进,贾宏光,韩雪峰,等. 一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析[J]. 红外与激光工程,2013(04):975-981.
APA 肖前进,贾宏光,韩雪峰,&席睿.(2013).一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析.红外与激光工程(04),975-981.
MLA 肖前进,et al."一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析".红外与激光工程 .04(2013):975-981.
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