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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
一种小口径凸非球面补偿器的设计 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 11, 页码: 302-309
作者:  邢振冲;  张葆;  洪永丰
caj(1305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：239/76  |  提交时间：2016/07/06
检测  光学设计  补偿器  公差分析  
高分辨率共孔径同轴三反光学系统 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 11, 页码: 310-316
作者:  陈哲;  张星祥;  陈长征;  任建岳
caj(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/115  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  共孔径同轴三反光学系统  像质评价  公差分析  
坐标缩放激光角谱传输及在激光光学系统中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 617-625
作者:  王挺峰;  刘立生;  郭劲;  陈长青
caj(478Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/88  |  提交时间：2016/07/06
激光光学系统  角谱传输  激光传输  Collins公式  公差分析  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/119  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/118  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
多光谱相机光学系统公差分析与研究 期刊论文
光学与光电技术, 2013, 期号: 04, 页码: 67-71
作者:  王红;  胡忠
caj(629Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：508/165  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  公差分析  多光谱相机  离轴三反系统  
静态傅里叶变换红外光谱仪的公差分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 06, 页码: 41-47
作者:  付建国;  梁静秋;  梁中翥
caj(1338Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/53  |  提交时间：2013/03/11
傅里叶光学  公差分析  多级微反射镜  评价标准  
一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计 期刊论文
光学学报, 2008, 期号: 5
作者:  许英朝;  张新;  周平
caj(450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/98  |  提交时间：2012/09/25
光学设计  计算全息  检测  级次分离  公差分析