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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：225/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
空间引力波探测望远镜初步设计与分析 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 01, 页码: 131-151
作者:  王智;  沙巍;  陈哲;  王永宪;  康玉思;  罗子人;  黎明;  李钰鹏
收藏  |  浏览/下载：279/0  |  提交时间：2019/09/17
望远镜  空间引力波探测  空间太极计划  LISA  激光干涉测量系统  
菲佐干涉仪移相器的结构优化设计 期刊论文
机械制造, 2018, 期号: 04, 页码: 33-35
作者:  毛石磊;  郭权锋;  朱锋
收藏  |  浏览/下载：194/0  |  提交时间：2019/09/17
菲佐干涉仪  移相器  设计  有限元  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
收藏  |  浏览/下载：248/0  |  提交时间：2019/09/17
共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
基于四波前剪切干涉的显微定量相位成像实验研究 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 07, 页码: 136-143
作者:  崔博川;  王建立;  姚凯男;  陈涛
收藏  |  浏览/下载：301/0  |  提交时间：2019/09/17
干涉术  干涉仪  相位测量  相位调制  波前  
适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
收藏  |  浏览/下载：236/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  崔博川
caj(5675Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/0  |  提交时间：2019/09/23
波前探测  相位光栅  波前重建  干涉图去噪  温度场测量  
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东;  彭常哲
收藏  |  浏览/下载：274/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  倍率  Zernike多项式  点衍射干涉法