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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：683/126  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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A Detection System Design of Echelle Diffraction Efficiency and Stray Coefficient 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 8
作者:  Shen, C. Y.;  J. C. Cui;  C. Sun;  W. Wang;  J. J. Chen and X. T. Li
浏览  |  Adobe PDF(549Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/117  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/93  |  提交时间：2018/06/13
基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 656-662
作者:  孙梦至;  高劲松;  李资政;  杨海贵;  王笑夷
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中阶梯光栅  厚铝膜  基底温度  
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
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Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
浏览  |  Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/110  |  提交时间：2017/09/11
Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
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Development and error compensation of the high precision turntable 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  Yao, X.;  C. Sun;  J. Yang;  L. Yin and H. Zhao
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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
caj(242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/65  |  提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹