Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响 | |
孙梦至; 高劲松 ; 李资政; 杨海贵; 王笑夷
| |
| 2016-12-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 6页码:656-662 |
| 摘要 | 大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率。中阶梯光栅通常是利用刻划机在厚铝膜上刻划而成,所以制备大面积均匀性的高质量铝膜刻划基底是实现高性能大尺寸中阶梯光栅的关键因素。在较厚铝膜的制备工艺中,基底温度是至关重要的工艺参数。本文通过电子束热蒸发镀铝工艺在不同基底温度下制备了厚铝膜样品,并利用原子力显微镜、扫描电镜等手段从宏观和微观尺度详细分析了基底温度对铝膜质量的影响。铝膜平均晶粒尺寸从100℃时的264.34 nm增大到200℃时的384.97 nm和300℃时的596.35 nm,表面粗糙度Rq从100℃时的34.7 nm增长到200℃时的58.9 nm和300℃时的95.1 nm。结果表明,随着基底温度的升高表面粗糙度迅速增大,铝膜的表面质量严重退化。 |
| 关键词 | 中阶梯光栅 厚铝膜 基底温度 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57916 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙梦至,高劲松,李资政,等. 基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响[J]. 中国光学,2016(6):656-662. |
| APA | 孙梦至,高劲松,李资政,杨海贵,&王笑夷.(2016).基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响.中国光学(6),656-662. |
| MLA | 孙梦至,et al."基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响".中国光学 .6(2016):656-662. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响.c（258KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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