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方形孔径棱镜式成像光谱仪光学设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 228-234
作者:  吴从均;  颜昌翔;  刘伟;  张军强
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光学设计  成像光谱仪  胶合棱镜  像质分析  色散补偿  
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：483/84  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss  
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜 期刊论文
激光技术, 2013, 期号: 05, 页码: 592-595
作者:  时光;  梅林;  高劲松;  张立超;  张玲花
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薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  深紫外  
数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
作者:  何煦;  向阳
caj(1178Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/119  |  提交时间：2014/03/07
光学测量  波像差  相移式干涉仪  剪切干涉仪  柔性铰链  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
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光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
水下专用成像物镜的设计 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: Z2, 页码: 38-41
作者:  袁婷;  安志勇;  肖作江;  付锦江
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水下成像  大视场  大相对孔径  光学设计  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
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投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:  华洋洋;  巩岩
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光学器件  光刻投影物镜  支撑结构  结构优化  有限元  
超高精度光学元件加工技术 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1485-1490
作者:  马占龙;  王君林
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光学制造  超光滑  离子束  面形精度  表面粗糙度  
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
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光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差