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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41
作者:  郑鑫;  陈波;  王孝东;  张宏吉;  李云鹏;  于再超
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Ge薄膜  直流磁控溅射  Ar气通入量  沉积速率  电学性质  
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:  刘震;  高劲松;  刘海;  王笑夷;  王彤彤
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：649/132  |  提交时间：2017/09/17
光学加工  磁控溅射  表面改性  Rb-sic  大口径  
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/116  |  提交时间：2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
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薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜 期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者:  刘震
caj(533Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/76  |  提交时间：2015/04/17
极紫外(Euv)  双波段多层膜  太阳望远镜  反射率  磁控溅射  
Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149
作者:  李云鹏;  郑鑫;  张宏吉;  王孝东;  陈波;  曹健林
caj(642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：682/143  |  提交时间：2015/04/17
光子计数成像  磁控溅射  非晶ge薄膜  电荷感应层  
月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者:  刘震;  高劲松;  陈波;  王彤彤;  王笑夷;  申振峰;  陈红
caj(497Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：536/158  |  提交时间：2014/03/07
极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  反射率  等离子体层  
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2012, 期号: 06, 页码: 544-549
作者:  胡明;  张立平;  高晓明;  伏彦龙;  杨军;  翁立军
caj(478Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：588/138  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  Cr/ag纳米多层薄膜  膜-基结合强度  摩擦学性能  
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:  刘震;  李旭;  马月英;  陈波;  曹健林
caj(422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/138  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  X射线衍射仪  反射率计