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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇
caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/110  |  提交时间：2016/07/06
薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线  
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:  姚志华;  金春水;  杨雄;  张立超;  金伟华;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：458/81  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  宽带多层膜  评价函数  遗传算法  磁控溅射