Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 | |
刘震 ; 李旭; 马月英; 陈波; 曹健林
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| 2011-04-15 | |
| 发表期刊 | 光谱学与光谱分析
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| 期号 | 04页码:1138-1141 |
| 关键词 | 极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 X射线衍射仪 反射率计 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27228 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘震,李旭,马月英,等. 23.4nm软X射线多层膜反射镜研制[J]. 光谱学与光谱分析,2011(04):1138-1141. |
| APA | 刘震,李旭,马月英,陈波,&曹健林.(2011).23.4nm软X射线多层膜反射镜研制.光谱学与光谱分析(04),1138-1141. |
| MLA | 刘震,et al."23.4nm软X射线多层膜反射镜研制".光谱学与光谱分析 .04(2011):1138-1141. |
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