Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜 | |
刘震
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| 2014-07-15 | |
| 发表期刊 | 光电子.激光
 |
| 期号 | 7页码:1298-1302 |
| 摘要 | Fe-IX/X(λ=17.1nm)和He-II(λ=30.4nm)是太阳辐射的两条重要谱线,极紫外(EUV)空间太阳望远镜通常选择这两条谱线对日冕进行观测。为了实现在同一块反射镜对上述两条谱线同时具有较高的反射率,设计了多层膜膜系结构。首先根据极紫外波段选材原则选择了Si、B4C和Mo 3种材料,构成B4C/Si和Mo/Si叠加的两种周期结构,优化其周期数、膜层厚度等,计算了反射率曲线,并从理论验证了其可行性;然后利用磁控溅射镀膜机,在Si片上镀制了多层膜;最后用激光等离子体反射率计检测了样片的反射率,结果显示,在波长17.1nm和30.4nm处的反射率分别达到19.9%和20.2%。通过选择不同滤光片,如Mg、Al/Zr滤光片,可以获得17.1nm或30.4nm单一谱线的反射,实现了设计目标。 |
| 关键词 | 极紫外(Euv) 双波段多层膜 太阳望远镜 反射率 磁控溅射 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42991 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘震. 用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜[J]. 光电子.激光,2014(7):1298-1302. |
| APA | 刘震.(2014).用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜.光电子.激光(7),1298-1302. |
| MLA | 刘震."用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜".光电子.激光 .7(2014):1298-1302. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜.（533KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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