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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41
作者:  郑鑫;  陈波;  王孝东;  张宏吉;  李云鹏;  于再超
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Ge薄膜  直流磁控溅射  Ar气通入量  沉积速率  电学性质  
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
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硅基平板声子晶体传感器高灵敏度 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  龙斌
Adobe PDF(3172Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：183/2  |  提交时间：2016/04/11
声子晶体  缺陷态  质量灵敏度  磁性微粒  
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149
作者:  李云鹏;  郑鑫;  张宏吉;  王孝东;  陈波;  曹健林
caj(642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/115  |  提交时间：2015/04/17
光子计数成像  磁控溅射  非晶ge薄膜  电荷感应层  
氮掺杂p型ZnO薄膜制备及相关问题研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵鹏程
Adobe PDF(4045Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/1  |  提交时间：2014/03/15
Zno薄膜  P型掺杂  分子束外延  间歇性补氧  B-n共掺  
Y孔分形频率选择表面的设计 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 959-966
作者:  高劲松;  冯晓国;  赵晶丽
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低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 28-34
作者:  王刚;  杨柏梁;  赵超;  刘宏宇;  黄锡珉
caj(272Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/69  |  提交时间：2013/03/11
Α-ta  直流磁控溅射  X射线衍射  方块电阻