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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：400/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208
作者: 王方雨; 孙强 ; 戴明; 刘昕辉; 王成; 金夕雅
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波像差 功率谱密度 共聚焦显微镜 结构函数 |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
caj(4184Kb) | 收藏 | 浏览/下载：400/0 | 提交时间：2019/09/23
系统波像差 光栅横向剪切干涉 相位复原算法 零级串扰误差 重复精度 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：284/0 | 提交时间：2019/09/17
测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 魏海松
caj(7117Kb) | 收藏 | 浏览/下载：206/0 | 提交时间：2019/09/23
光学系统检测 大口径空间望远镜 像质评估 扫描哈特曼 多光束阵列拼接 波像差 |
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑; 张建国
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集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 |
| 重力对空间相机系统波像差影响的光机集成分析与验证 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 8, 页码: 1917-1926
作者: 董得义; 李志来; 薛栋林; 陈长征; 张学军
caj(454Kb) | 收藏 | 浏览/下载：341/131 | 提交时间：2017/09/17
空间相机 波像差 光机集成分析 重力变形 |
| R-C光学系统的计算机辅助装调 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 183-188
作者: 刘波; 丁亚林; 贾继强; 苏东风; 张雷
caj(439Kb) | 收藏 | 浏览/下载：321/107 | 提交时间：2017/09/17
R-c光学系统 计算机辅助装调 Zernike系数 波像差 |
| 大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136
作者: 王孝坤
caj(714Kb) | 收藏 | 浏览/下载：343/129 | 提交时间：2017/09/17
光学检测 大口径非球面 三镜消像散系统 波像差检验 子孔径拼接干涉技术 |
| 基于子孔径斜率离散采样的波前重构 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 20-29
作者: 何煦; 袁理
caj(1624Kb) | 收藏 | 浏览/下载：310/158 | 提交时间：2017/09/17
大口径光电望远镜 像质评价 波像差 子孔径斜率 |
