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应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/173  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计  
基于ZnS金属网栅制作工艺的改进 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 131-136
作者:  陈赟;  李艳茹;  张红胜
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/134  |  提交时间：2015/04/17
金属网栅  多晶zns  光刻复制工艺  光刻胶  
大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: Z1, 页码: 10-12
作者:  陈赟;  张红胜;  李艳茹
caj(1240Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/121  |  提交时间：2014/03/07
玻璃网格板  计量圆光栅  制作工艺  光刻胶  刻线间距  
极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：606/117  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
caj(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/99  |  提交时间：2012/09/25
全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜  
通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数 期刊论文
光电子·激光, 2005, 期号: 02, 页码: 150-154
作者:  任智斌;  卢振武
caj(493Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：644/85  |  提交时间：2013/03/11
折射型微透镜阵列  光刻胶热熔法  F数(F#)  缩短显影时间  
硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
caj(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：472/76  |  提交时间：2013/03/11
硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922  
软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文
物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6
作者:  金春水;  曹健林
caj(222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/79  |  提交时间：2013/03/11
软x射线:6714  投影光刻:5104  多层膜:4818  反射式:1137  光刻胶:1091  软x射线照射:949  掩膜技术:901  反射率:875  光学系统:601  易氧化材料:561  
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:  王占山;  刘毅楠;  曹健林
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/71  |  提交时间：2013/03/11
接触式显微术  光刻胶  溶解速率  
DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 04, 页码: 11-14
作者:  郭玉彬
caj(137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/94  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  光刻胶  感光灵敏度