已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文 科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127 作者: 鹿国庆; 吴义恒; 李伶俐; 卢启鹏![](/image/person.jpg)
caj(280Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:378/169  |  提交时间:2017/09/17 极紫外光刻 光刻胶 平衡关系 材料设计 |
| 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 131-136 作者: 陈赟; 李艳茹; 张红胜
caj(466Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:431/114  |  提交时间:2015/04/17 金属网栅 多晶zns 光刻复制工艺 光刻胶 |
| 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: Z1, 页码: 10-12 作者: 陈赟; 张红胜; 李艳茹
caj(1240Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:431/117  |  提交时间:2014/03/07 玻璃网格板 计量圆光栅 制作工艺 光刻胶 刻线间距 |
| 极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152 作者: 王君; 金春水 ; 王丽萍 ; 卢增雄
caj(583Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:594/110  |  提交时间:2013/03/11 X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 |
| 基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文 微细加工技术, 2007, 期号: 1 作者: 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东
caj(275Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:500/94  |  提交时间:2012/09/25 全息光栅 光刻胶热熔法 离子束刻蚀 原子力显微镜 |
| 通过缩短显影时间提高微透镜阵列的填充因子与F数 期刊论文 光电子·激光, 2005, 期号: 02, 页码: 150-154 作者: 任智斌; 卢振武![](/image/person.jpg)
caj(493Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:576/83  |  提交时间:2013/03/11 折射型微透镜阵列 光刻胶热熔法 F数(F#) 缩短显影时间 |
| 硅光栅技术 期刊论文 光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15 作者: 栾光辉; 刘剑![](/image/person.jpg)
caj(1040Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:455/72  |  提交时间:2013/03/11 硅光栅:8344 衍射光栅:2782 各向异性刻蚀:2681 制作工艺:2002 光刻胶:1650 闪耀光栅:1645 微机械:1511 微细加工技术:1326 多晶硅:1050 反射光栅:922 |
| 软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文 物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6 作者: 金春水 ; 曹健林
caj(222Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:383/70  |  提交时间:2013/03/11 软x射线:6714 投影光刻:5104 多层膜:4818 反射式:1137 光刻胶:1091 软x射线照射:949 掩膜技术:901 反射率:875 光学系统:601 易氧化材料:561 |
| 用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文 微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46 作者: 王占山; 刘毅楠; 曹健林
caj(39Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:457/61  |  提交时间:2013/03/11 接触式显微术 光刻胶 溶解速率 |
| DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 期刊论文 微细加工技术, 1995, 期号: 04, 页码: 11-14 作者: 郭玉彬
caj(137Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:421/94  |  提交时间:2013/03/11 软x射线 光刻胶 感光灵敏度 |