中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/103  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 03, 页码: 313-319
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加
caj(961Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/72  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  激光等离子体  光刻术  光刻胶