Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 | |
| 郭玉彬 | |
| 1995-12-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 04页码:11-14 |
| 关键词 | 软x射线 光刻胶 感光灵敏度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31230 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭玉彬. DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量[J]. 微细加工技术,1995(04):11-14. |
| APA | 郭玉彬.(1995).DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量.微细加工技术(04),11-14. |
| MLA | 郭玉彬."DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量".微细加工技术 .04(1995):11-14. |
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| DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测（137KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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