Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究 | |
| 陈赟; 张红胜; 李艳茹 | |
| 2013-06-15 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | Z1页码:10-12 |
| 摘要 | 玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。 |
| 关键词 | 玻璃网格板 计量圆光栅 制作工艺 光刻胶 刻线间距 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38461 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟,张红胜,李艳茹. 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2013(Z1):10-12. |
| APA | 陈赟,张红胜,&李艳茹.(2013).大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究.长春理工大学学报(自然科学版)(Z1),10-12. |
| MLA | 陈赟,et al."大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究".长春理工大学学报(自然科学版) .Z1(2013):10-12. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究.caj（1240KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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