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| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者: 陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦
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上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者: 宋源; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
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变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差 |
| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
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光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
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X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 弧矢压弯晶面扭曲问题研究 期刊论文
核技术, 2013, 期号: 07, 页码: 3-9
作者: 余盛辉; 薛松; 祝万钱; 卢启鹏; 彭中琦
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弧矢聚焦单色器 压弯晶体 晶面扭曲 有限元分析 |
| 近红外无创生化分析中高效双复合抛物面聚光系统设计 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 05, 页码: 1406-1410
作者: 高静; 卢启鹏; 彭忠琦; 丁海泉; 高洪智
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复合抛物面聚光器 光学设计 近红外 无创生化分析 |
| 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 308-313
作者: 龚学鹏; 卢启鹏; 彭忠琦
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光学器件 同步辐射 谱学显微 单色器 机械结构 重复精度 |
| X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
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X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 |
