Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 | |
高飒飒; 卢启鹏 ; 彭忠琦; 龚学鹏
| |
| 2012-12-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 12页码:306-312 |
| 关键词 | X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27317 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,等. X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析[J]. 光学学报,2012(12):306-312. |
| APA | 高飒飒,卢启鹏,彭忠琦,&龚学鹏.(2012).X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析.光学学报(12),306-312. |
| MLA | 高飒飒,et al."X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析".光学学报 .12(2012):306-312. |
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| X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析（977KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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