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全固态单纵模273 nm深紫外激光器研制 期刊论文
中国激光, 2023, 卷号: 50, 期号: 23, 页码: 64-70
作者:  窦微;  侯珊珊;  郑志远;  于博威;  陈曦;  郑权
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重型燃气轮机空心轴转子呼吸裂纹故障特征研究 期刊论文
工程机械, 2023, 卷号: 54, 期号: 05, 页码: 43-53+8
作者:  赵御勃
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水体参数高光谱反演模型对比研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2023, 卷号: 43, 期号: 03, 页码: 949-954
作者:  邹宇博;  马振予;  焦庆斌;  许亮;  裴健;  李宇航;  许玉兴;  张嘉航;  李徽;  杨琳;  刘思琪;  张薇;  谭鑫
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星载气溶胶被动光学遥感仪器：进展与未来展望 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 17, 页码: 38-53
作者:  丁宁;  于博;  颜昌翔;  李文杰;  鞠学平
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/142  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
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成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/131  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法