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| 星载气溶胶被动光学遥感仪器:进展与未来展望 期刊论文 光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 17, 页码: 38-53 作者: 丁宁; 于博; 颜昌翔 ; 李文杰; 鞠学平
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| Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53 作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波 ; 郭涛; 姚舜 ; 李春 ; 邓文渊![](/image/person.jpg)
浏览  |   Adobe PDF(3802Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:327/120  |  提交时间:2021/07/06 原子与分子物理学 分子动力学 反射 再溅射 Mo/Si原子 角度分布 能量分布 |
| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波 ; 郭涛; 姚舜 ; 李春 ; 邓文渊![](/image/person.jpg)
浏览  |   Adobe PDF(2105Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:233/56  |  提交时间:2021/07/06 薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水 ; 王春忠
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:253/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉 ; 周烽 ; 喻波 ; 谢耀 ; 于杰 ; 刘钰 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(1280Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:355/129  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 作者: 王君; 金春水 ; 王丽萍 ; 郭本银 ; 喻波![](/image/person.jpg)
caj(491Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:519/188  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305 作者: 王珣; 金春水 ; 匡尚奇; 喻波 ; 金方圆
caj(351Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:448/114  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88 作者: 王珣; 金春水 ; 匡尚奇; 喻波![](/image/person.jpg)
caj(413Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:438/154  |  提交时间:2015/04/17 极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |
| 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备 期刊论文 光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 289-294 作者: 祝文秀; 金春水 ; 匡尚奇; 喻波![](/image/person.jpg)
caj(902Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:610/141  |  提交时间:2013/03/11 薄膜 多层膜 光谱纯度 极紫外 |
| 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文 中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水![](/image/person.jpg)
caj(458Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:552/145  |  提交时间:2013/03/11 薄膜 Mo/si多层膜 扩散系数 掠入射x射线反射谱 四层模型 极紫外 |