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一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：253/104  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/115  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Xie, Y.;  L.-P. Wang;  B.-Y. Guo;  J. Wang;  L. Miao;  H. Wang and F. Zhou
Adobe PDF(645Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/85  |  提交时间：2017/09/11
Optical system design of multispectral achromatic imaging flow cytometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 9
作者:  Li, C.;  B. Guo and Z. Sun
Adobe PDF(1903Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/125  |  提交时间：2017/09/11
微缩投影系统的计算机辅助装调 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2103-2108
作者:  谢耀;  于杰;  王丽萍;  王辉;  周烽
caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/115  |  提交时间：2015/04/17
微缩投影系统  集成装调  计算机辅助装调  敏感度矩阵  奇异值分解  
基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 6, 页码: 654-659
作者:  谢冀江;  杨贵龙;  邵春雷;  张来明;  郭劲
Adobe PDF(728Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/134  |  提交时间：2012/05/11
极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计 期刊论文
光电工程, 2007, 期号: 12
作者:  金春水
Unknown(274Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：543/192  |  提交时间：2012/09/25