Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统 | |
谢冀江 ; 杨贵龙; 邵春雷; 张来明; 郭劲
| |
| 2011-12-20 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| ISSN | 2095-1531 |
| 卷号 | 4期号:6页码:654-659 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3363 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢冀江,杨贵龙,邵春雷,等. 基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统[J]. 中国光学,2011,4(6):654-659. |
| APA | 谢冀江,杨贵龙,邵春雷,张来明,&郭劲.(2011).基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统.中国光学,4(6),654-659. |
| MLA | 谢冀江,et al."基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统".中国光学 4.6(2011):654-659. |
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