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高精度角分度转台设计及其误差修正研究 期刊论文
机电工程, 2021, 卷号: 38, 期号: 09, 页码: 1180-1184
作者:  李忠明;  李俊霖;  韩冰;  唐延甫;  杨永强
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面向生化分析应用的小型平像场分光光度计结构研究 期刊论文
光电子技术, 2020, 卷号: 40, 期号: 03, 页码: 170-175
作者:  马婷婷;  杨晋;  朱继伟;  孙慈;  宋楠;  彭勇;  郭雪强;  张健;  冯树龙;  郭汉洲
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分光光度计  光谱仪  生化分析  吸光度  
五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊;  刘林;  巴音贺希格;  李文昊
Adobe PDF(3195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：160/56  |  提交时间：2021/07/06
衍射光栅  精密测量  五维自由度  
Grating-based precision measurement system for five-dimensional measurement 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 1, 页码: 189-202
作者:  Q. Lv,W. Wang,Z.-W. Liu,Y. Song,S. Jiang,L. Liu,Bayanheshig and W.-H. Li
Adobe PDF(3195Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：133/48  |  提交时间：2021/07/06
基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
caj(7246Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：133/0  |  提交时间：2020/08/24
精密测量  衍射光栅  多维度  大量程  误差分析  外差测量  Littow结构  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：155/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/144  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:  周辉;  张善文;  崔继承;  王玮;  赵旭龙;  李晓天
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罗兰光栅  刻线误差  曲率半径误差  定位误差