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光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/115  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:  代晓珂;  金春水;  于杰
caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/111  |  提交时间：2015/04/17
光学检测  点衍射干涉仪  波面参考源  误差研究  公差分析  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：501/183  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文
激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306
作者:  常艳贺;  金春水;  李春;  邓文渊;  靳京城
caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/75  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  激光损伤  氟化物  聚集密度  电场强度分布  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/107  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/142  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪  
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/97  |  提交时间：2015/04/17
装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测