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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文 博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 方超![](/image/person.jpg)
caj(4184Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:350/0  |  提交时间:2019/09/23 系统波像差 光栅横向剪切干涉 相位复原算法 零级串扰误差 重复精度 |
| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144 作者: 方超 ; 向阳 ; 齐克奇![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:141/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 光栅 相位 干涉 串扰 重复精度 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者: 张璐; 向阳![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:237/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 |
| 空间引力波探测望远镜初步设计与分析 期刊论文 中国光学, 2018, 期号: 01, 页码: 131-151 作者: 王智; 沙巍 ; 陈哲; 王永宪; 康玉思 ; 罗子人; 黎明; 李钰鹏
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:285/0  |  提交时间:2019/09/17 望远镜 空间引力波探测 空间太极计划 LISA 激光干涉测量系统 |
| 菲佐干涉仪移相器的结构优化设计 期刊论文 机械制造, 2018, 期号: 04, 页码: 33-35 作者: 毛石磊; 郭权锋 ; 朱锋
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:206/0  |  提交时间:2019/09/17 菲佐干涉仪 移相器 设计 有限元 |
| 微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文 中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264 作者: 戴岑; 巩岩 ; 张昊; 李佃蒙 ; 薛金来![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:271/0  |  提交时间:2019/09/17 共焦显微 微分干涉差 标量衍射 膜层结构 缺陷探测 |
| 基于四波前剪切干涉的显微定量相位成像实验研究 期刊论文 光子学报, 2018, 期号: 07, 页码: 136-143 作者: 崔博川; 王建立; 姚凯男; 陈涛
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:311/0  |  提交时间:2019/09/17 干涉术 干涉仪 相位测量 相位调制 波前 |
| 适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953 作者: 姚东; 李钰鹏; 赵亚; 王智; 沙巍 ; 王永宪
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:243/0  |  提交时间:2019/09/17 激光干涉仪 氢氧离子催化黏接 高精度测量 高精度装配 空间太极计划 |
| 基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文 博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 崔博川
caj(5675Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:413/0  |  提交时间:2019/09/23 波前探测 相位光栅 波前重建 干涉图去噪 温度场测量 |
| 成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文 光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176 作者: 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东; 彭常哲
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:297/0  |  提交时间:2019/09/17 测量 倍率 Zernike多项式 点衍射干涉法 |